Opis

• Title:
  Sposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w krzemowych strukturach półprzewodnikowych : opis patentowy nr 216726
• Creator:
  Żukowski, Paweł;
  Węgierek, Paweł;
  Kowalski, Marcin
• Contributor:
  Politechnika Lubelska. Uprawaniony z patentu;
  Milczek, Tomasz (1950- ) (oprac.)
• Object availability:
  Dostęp otwarty
• Rights:
  Politechnika Lubelska
• Date:
  2014;
  2008.07.17;
  2010.01.18;
  2014.05.30
• Type:
  Opis patentowy
• Coverage:
  H01L 21/76 (2006.01) Int. Cl.
• Format:
  application/pdf
• Publisher:
  Politechnika Lubelska (wyd. cyfrowe);
  Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (wyd. oryg.)
• Relation:
  Opis zgłoszeniowy wynalazku PL 385684 (A1) 17.07.2008.;
  Nr zgłoszenia: 385684.
• Data provider:
  Biblioteka Cyfrowa Politechniki Lubelskiej
• Can I use it?:
  poproś o pozwolenie
• Type:
  obrazy