Opis

• Tytuł:
  Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła arsenu albo fosforu do dufuzji planarnej w krzemie
• Twórca:
  Kończak, Sławomir;
  Dobiech, Teresa;
  Waczyński, Krzysztof;
  Gmyrek, Joachim;
  Krompiec, Stanisław
• Opis:
  numer zgłoszenia: 264595;
  data zgłoszenia: 1987-03-11;
  numer publikacji: PL 151167;
  data publikacji: 1990-12-31
• Dostępność obiektu:
  Dostęp otwarty
• Prawa:
  własność autora;
  zasób dostępny bez ograniczeń
• Typ:
  opis patentowy
• Język:
  polski
• Źródło: Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej - Serwer Publikacji
• Format:
  application/pdf
• Wydawca:
  Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej
• Relacja:
  Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki. Politechnika Śląska
• Temat i słowa kluczowe:
  arsen;
  fosfor;
  dyfuzja planarna;
  krzem
• Identyfikator: Baza „Dorobek”
• Dostawca danych:
  Biblioteka Cyfrowa Politechniki Śląskiej
• Czy mogę z tego obiektu skorzystać?:
  tak
• Rodzaj zawartości:
  teksty