Description

• Title:
  Sposób wytwarzania bezuzwojeniowych indukcyjności do układów mikroelektronicznych : opis patentowy nr 216971
• Creator:
  Zhukowski, Pawel;
  Kołtunowicz, Tomasz N.;
  Węgierek, Paweł;
  Fedotov, Alexander;
  Fedotova, Julia A.;
  Larkin, Andrzej
• Contributor:
  Politechnika Lubelska. Uprawaniony z patentu;
  Milczek, Tomasz (1950- ) (oprac.)
• Description:
  Sposób wytwarzania obszarów bezuzwojeniowych indukcyjności do układów mikroelektronicznych charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem magnetronowym warstwy materiału ferromagnetycznego o składzie (Co0,45Fe0,45Zr0,10)0,38(Al2O3)0,62 w atmosferze argonu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1 Pa, korzystnie 5,19 • 10-2 Pa i tlenu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1Pa, korzystnie 4,41 •10-2 Pa na płytkę podłożową z krzemu, poddaną, wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego, a następnie przeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 575°C, w czasie 10-30 minut, korzystnie 15 minut.
• Object availability:
  free access
• Rights:
  Politechnika Lubelska
• Date:
  2014;
  2010.03.22;
  2011.09.26;
  2014.05.30
• Type:
  Opis patentowy
• Coverage:
  H01F 41/02 (2006.01) Int. Cl.;
  H01F 41/14 (2006.01) Int. Cl.
• Format:
  application/pdf
• Publisher:
  Politechnika Lubelska (wyd. cyfrowe);
  Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (wyd. oryg.)
• Relation:
  Opis zgłoszeniowy wynalazku PL 390789 (A1) 22.03.2010.;
  Nr zgłoszenia: 390789.
• Data provider:
  Biblioteka Cyfrowa Politechniki Lubelskiej
• Can I use it?:
  seek permission
• Type:
  image