Description

• Title:
  Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych opis patentowy nr 222094
• Creator:
  Tomasz Kołtunowicz
• Contributor:
  Politechnika Lubelska. Uprawaniony z patentu ; Milczek Tomasz (1950-) (oprac.)
• Description:
  Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych, na płytce podłożowej z krzemu, poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie FeCoZr)62,7(CaF2)37,3 w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa oraz tlenu w zakresie ciśnień od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa, a następnie wykonuje się wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 150°C, w czasie 10 - 20 minut.
• Object availability:
  free access
• Rights:
  Politechnika Lubelska
• Date:
  2016;
  2014.11.03;
  2015.08.03;
  2016.06.30
• Type:
  Opis patentowy
• Language:
  Polish
• Coverage:
  H01G 4/33 (2006.01) Int. Cl.;
  H01L 27/00 (2006.01) Int. Cl.;
  H01F 41/14 (2006.01) Int. Cl.;
  H01F 41/02 (2006.01) Int. Cl.;
  H01F 41/18 (2006.01) Int. Cl.;
  H01L 23/64 (2006.01) Int. Cl.;
  C23C 14/00 (2006.01) Int. Cl.
• Format:
  application/pdf
• Publisher:
  Politechnika Lubelska (wyd. cyfrowe) ; Urząd Patentowy Rzeczpospolitej Polskiej (wyd. oryg.)
• Relation:
  Opis zgłoszeniowy wynalazku PL410024 (A1) 03.08.2015.;
  Nr zgłoszenia: 410024.
• Data provider:
  Biblioteka Cyfrowa Politechniki Lubelskiej
• Can I use it?:
  seek permission
• Type:
  image