Description

• Title:
  Badanie przydatności płytkowego źródła domieszek arsenu do krzemu = Investigation of use the solid planar source to dope silicon with arsenic
• Creator:
  Dobiech Teresa
• Contributor:
  Waczyński Krzysztof;
  Kończak Sławomir
• Description:
  Bibliogr. s. 42
• Object availability:
  free access
• Rights:
  Rights Reserved - Free Access;
  Copyright-protected material. May be used within the limits of statutory user freedoms;
  Open
• Date:
  1982.12.31;
  1982
• Type:
  Text;
  Article
• Language:
  Polish
• Source:
  ITME, sygn. dostępny;
  http://katalog.pan.pl/webpac-bin/218bitmeEN/wgbroker.exe?new+-access+top+search+open+NR+kv_5542
• Format:
  application/pdf
• Publisher:
  Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
• Relation:
  Electronic Materials
• Subject:
  Electronic - journal - materials;
  Electronic - materials;
  Si;
  doping;
  As
• Data provider:
  Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
• Can I use it?:
  seek permission
• Type:
  other